等離子拋光機(jī)由底座、拋盤、拋光織物、拋光罩及蓋等基本元件組成。電動(dòng)機(jī)固定在底座上，固定拋光盤用的錐套經(jīng)過(guò)螺釘與電動(dòng)機(jī)軸相連。拋光織物經(jīng)過(guò)套圈緊固在拋光盤上，電動(dòng)機(jī)經(jīng)過(guò)底座上的開關(guān)接通電源起動(dòng)后，便可用手對(duì)試樣施加壓力在轉(zhuǎn)動(dòng)的拋光盤上進(jìn)行拋光。拋光過(guò)程中參加的拋光液可經(jīng)過(guò)固定在底座上的塑料盤中的排水管流入置于拋光機(jī)旁的方盤內(nèi)。拋光罩及蓋可防止灰土及其他雜物在機(jī)器不運(yùn)用時(shí)落在拋光織物上而影響運(yùn)用效果。

等離子拋光機(jī)操作的關(guān)鍵是要設(shè)法得到更大的拋光速率，以便盡快除去磨光時(shí)發(fā)生的損害層。一起也要使拋光損害層不會(huì)影響最終觀察到的安排，即不會(huì)形成假安排。前者要求運(yùn)用較粗的磨料，以確保有較大的拋光速率來(lái)去除磨光的損害層，但拋光損害層也較深；后者要求運(yùn)用最細(xì)的資料，使拋光損害層較淺，但拋光速率低。處理這個(gè)矛盾的更好的方法便是把拋光分為兩個(gè)階段進(jìn)行。粗拋意圖是去除磨光損害層，這一階段應(yīng)具有更大的拋光速率，粗拋形成的表層損害是非必須的考慮，不過(guò)也應(yīng)當(dāng)盡可能小；其次是精拋(或稱終拋)，其意圖是去除粗拋發(fā)生的表層損害，使拋光損害減到最