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等離子拋光機在作業(yè)過程中、是要靠電來將拋光鹽溶液離化發(fā)生等離子、等離子下電場下轟擊產(chǎn)品外表、構成端放電、一起伴有化學微腐蝕，物理化學雙作用發(fā)生的拋光效果。在微觀下是要靠電將原來穩(wěn)定的資料原子核周圍的電子通過電場脫離原子核的束縛、構成活躍的離子。此等一切的能量都需要電來供給、并且等離子的發(fā)生還需要很高的電場才可以發(fā)生。
等離子拋光機操作的關鍵是要設法得到更大的拋光速率，以便盡快除去磨光時產(chǎn)生的損傷層。同時也要使拋光損傷層不會影響最終觀察到的組織，即不會造成假組織。前者要求使用較粗的磨料，以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層，但拋光損傷層也較深；后者要求使用最細的材料，等離子拋光機使拋光損傷層較淺，但拋光速率低。
解決這個矛盾的更好的辦法就是把拋光分為兩個階段進行。粗拋目的是去除磨光損傷層，這一階段應具有更大的拋光速率，粗拋形成的表層損傷是次要的考慮，不過也應當盡可能??；其次是精拋(或稱終拋)，其目的是去除粗拋產(chǎn)生的表層損傷，使拋光損傷減到最小。
